15年專注精密自動化設備研發廠家
產(chǎn)品名稱:半導體(tǐ)晶圓噴(pēn)光刻膠一體機
產品介紹:
歐力(lì)克斯自主設(shè)計研(yán)發的半導體晶(jīng)圓噴光刻膠一(yī)體機,具有性價比高、靈活性(xìng)強、產能效率高等優勢;采用壓電噴射閥噴射速度快,點膠(jiāo)精度高,最小點徑0.2mm,最小(xiǎo)線徑0.3mm,一(yī)致性高,非接觸,避免針頭碰(pèng)撞工件;極小點膠量,適用於更緊湊的空間。久久久久国产成人精品亚洲午夜半導(dǎo)體(tǐ)精密點膠設備可以更好的滿足半(bàn)導體行業點膠工藝需求。
點膠工藝:
芯片的固定-紅膠、電氣的連(lián)接固定-銀漿、固定MEMS器件-矽膠、COB封(fēng)裝防護-環氧膠,芯片錫球保護(Underfill)-環氧膠等
技術特點 晶圓點(diǎn)膠機,伺服絲杆,龍(lóng)門結構,雙Y、雙X軸,運行穩定;搭載自研壓電式噴射閥,大視野視覺相機,點膠精度高 機(jī)械手搬運(yùn)機構,采用上銀4軸微小(xiǎo)型機器人進行搬運 機械手自動把點好膠的晶圓搬運到真空烘烤機中,自動關閉艙門在真空環境中利用光照烘烤固化
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